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蒸着装置 昭和真空 SGC-22SA-RF
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【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
98年製
EBガン
抵抗加熱方式 |
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真空装置 蒸着機 ドライエッチング
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蒸着装置 アルバック EBX-1000
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【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
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真空装置 蒸着機 ドライエッチング
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リフトオフ用EB蒸着装置
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アッシャー |
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| 昭和真空 SEC-22CM |
アルキャンテック MAS-8000 |
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| 真空蒸着機 |
単層蒸着機 |
蒸着機 |
| 真空技研 BM-700DCH |
朝日真空機械 AVC-550SKP-K |
昭和真空 SEC-10SA-C |
| 委託販売 |
委託販売 |
委託販売 |
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スパッタ蒸着装置（マルチ）
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電子ビーム蒸着装置 |
EB蒸着装置 |
| アネルバ（ANELVA） SPF-430H |
アネルバ（ANELVA） EVC-400B |
昭和真空 SEC-10SA-C |
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RIE
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STS LARGE AREACPエッチング装置 |
EB蒸着装置 |
アネルバ DEM-451
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STS |
アネルバ（ANELVA） EVC-1501 |
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アネルバ(ANELVA) ドライエッチャー
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蒸着機
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DEM-451T
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SBC-16SA
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昭和真空 蒸着機
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アネルバ ドライエッチング
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SGC-8M2
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DEM-451
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東京応化 エッチング装置
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アネルバ(ANELVA) ドライエッチャー
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OAPM-416
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DEM-451H
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付属品
| ロータリーポンプ(2台) |
ULVAC |
EC403 |
| メカブ |
ULVAC |
001C |
| メカブ |
ULVAC |
001CM |
| チラーCOOLNIT3台 |
TAITEC |
CL-300 |
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委託販売 |
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中古 蒸着機 ドライエッチング
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垂直蒸着装置 昭和真空 SEC-0502C
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【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
| 名称 |
型式 |
製造メーカー |
装置寸法 |
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| 垂直蒸着装置 |
SEC-0502C |
昭和真空 |
本体 |
W 2255 |
Ｄ 2255 |
Ｈ 2429 |
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昭和真空 |
制御盤 |
W 565 |
Ｄ 1020 |
Ｈ 2140 |
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JEOL |
ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ |
W 570 |
Ｄ 760 |
Ｈ 1545 |
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真空装置 蒸着機 ドライエッチング
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ICPエッチング装置(RIE) SAMCO ICP-101LC
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【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
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真空装置 蒸着機 ドライエッチング
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熱真空試験機
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【詳細（年式、仕様他）】-----------------------------------------------------
真空中で、-70℃〜70℃の熱サイクル試験が可能 |
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真空装置 蒸着機 ドライエッチング
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他にも色々装置がありますので、ご連絡をお願いいたします。
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